产品特性：

XYZ均采用直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XYZ内置高精度绝对值光栅尺，1nm光栅分辨率，重复定位精度≤±100nm，绝对定位精度（位置误差补偿后）≤±350nm；

配套专用高精度控制器，实现静态抖动（jitter）值≤±25nm，让耦合更稳定；

高速寻光，每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g，让找光、寻光更快，效率更高；

典型应用领域：有源/无源 光模块三维耦合设备，精密零件光学检测。